NAU Harvester System
DIAGNOSTICS OF FILM'S COMPOSITION ON BASE OF HEYISLER ALLOY BY THE RESULTS OF LOCAL RESEARCH
Наукові журнали Національного Авіаційного Університету
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
DIAGNOSTICS OF FILM'S COMPOSITION ON BASE OF HEYISLER ALLOY BY THE RESULTS OF LOCAL RESEARCH
ДИАГНОСТИКА СОСТАВА ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ СПЛАВА ГЕЙСЛЕРА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ЛОКАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ДІАГНОСТИКА СКЛАДУ ПЛІВОК НА ОСНОВІ СПЛАВУ ГЕЙСЛЕРА ЗА РЕЗУЛЬТАТАМИ ЛОКАЛЬНИХ ДОСЛІДЖЕНЬ |
|
| Creator |
Легкова, Г.; Національний авіаційний університет
Слусар, Т.; Національний авіаційний університет Сущенко, О.; Національний авіаційний університет |
|
| Subject |
—
— UDC 539,216,004,12(045) — — УДК 539,216,004,12(045) — — УДК 539,216,004,12(045) |
|
| Description |
The researches of films based on Heyisler alloy Co2CrGa, produced by discrete evaporation method in a vacuum chamber were done. It was found that the results of film’s composition obtained by electron-probe microanalysis and Auger-electron spectroscopy don’t correspond to the massive sample composition. To get film’s composition correct to that of the massive one it was proposed to increase the temperature of the evaporator.
Проведено исследование пленок на основе сплава Гейслера Co2CrGa, изготовленных методом дискретного испарения в вакуумной камере. Обнаружено, что результаты определения пленок, полученные как электронно-зондовым методом, так и Оже-электронной спектроскопией, не соответствуют составу массивного образца. Для воспроизведения состава массивного образца при напыления пленок предложено увеличить температуру испарителя. Проведено дослідження плівок на основі сплаву Гейслера Co2CrGa, виготовлених методом дискретного випаровування у вакуумній камері. Виявлено, що результати визначення складу плівок, отримані як електронно-зондовим методом, так і Оже-електронною спектроскопією, не відповідають складу масивного зразка. Для відтворення складу масивного зразка під час напилення плівок запропоновано збільшити температуру випаровувача. |
|
| Publisher |
National Aviation University
|
|
| Contributor |
—
— — |
|
| Date |
2012-11-24
|
|
| Type |
—
— — |
|
| Format |
application/pdf
application/pdf application/pdf |
|
| Identifier |
http://jrnl.nau.edu.ua/index.php/SBT/article/view/5114
10.18372/2310-5461.15.5114 |
|
| Source |
Наукоємні технології; Том 15, № 3 (2012); 94-98
Science-based technologies; Том 15, № 3 (2012); 94-98 Наукоемкие технологии; Том 15, № 3 (2012); 94-98 |
|
| Language |
uk
|
|