NAU Harvester System
Automate the design of clean rooms for industries mikroelektronnoy
Наукові журнали Національного Авіаційного Університету
View Archive Info| Field | Value | |
| Title |
Automate the design of clean rooms for industries mikroelektronnoy
Автоматизированое проектирование чистых помещений для микроэлектронной промышленности АВТОМАТИЗОВАНЕ ПРОЕКТУВАННЯ ЧИСТИХ ПРИМІЩЕНЬ ДЛЯ МІКРОЕЛЕКТРОННОЇ ПРОМИСЛОВОСТІ |
|
| Creator |
Синеглазов, В.М.
Федосенко, В.Н. |
|
| Subject |
—
чистое помещение; автоматизированное проектирование; системы мониторинга и сигнализации — |
|
| Description |
The structure of computer-aided design of cleanrooms for the microelectronics industry, a list of monitoring systems to ensure implementation of regulatory requirements for clean room.
Предложена структура системы автоматизированного проектирования чистых помещений для микроэлектронной промышленности, определен перечень систем контроля, обеспечивающих выполнение нормативных требований, предъявляемых к чистому помещению. Запропоновано структуру системи автоматизованого проектування чистих приміщень для мікроелектронної промисловості, визначено перелік систем контролю, що забезпечують виконання нормативних вимог, що ставлять до чистого приміщення. |
|
| Publisher |
National Aviation University
|
|
| Contributor |
—
— — |
|
| Date |
2012-07-06
|
|
| Type |
—
— — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://jrnl.nau.edu.ua/index.php/ESU/article/view/948
10.18372/1990-5548.31.948 |
|
| Source |
Electronics and Control Systems; Том 1, № 31 (2012)
Электроника и системы управления; Том 1, № 31 (2012) Електроніка та системи управління; Том 1, № 31 (2012) |
|
| Language |
ru
|
|